База ГОСТов РФ

Общероссийский классификатор стандартовЭЛЕКТРОНИКАОптоэлектроника. Лазерное оборудование *Включая фотоэлементы

ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов

Название на англ.:Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Тип документа:стандарт
Статус документа:действующий
Число страниц:13
Дата актуализации текста:01.08.2013
Дата актуализации описания:01.08.2013
Дата издания:04.10.1973
Дата введения в действие:31.08.1973
Дата последнего изменения:22.05.2013


Популярные услуги

Все документы

Бесплатная консультация

Наши сотрудники всегда предоставят Вам бесплатную консультацию и будут рады взять на себя обязанности по оформлению нужного Вам сертификационного документа.

Светлана

Ксения

Задать вопрос специалисту

Все вопросы

Оставить заявку

Точные сроки, цену и условия можно узнать отправив заявку. Пожалуйста, заполните форму